|
Предназначены для использования в качестве подложки в изделиях наповерхностных акустических волнах ПАВ. Пластина должна иметьпервичную лыску, расположенную перпендикулярно кристаллографическойоси Х. Отклонение поверхности от лыски от перпендикулярности ккристаллографической оси Х должно быть не более 0.25 ¦ для пластиндиаметром 100.0 мм. Рабочая поверхность пластины должна бытьотполирована. На рабочей поверхности пластины не допускаются выбоины, трещины, дефект апельсиновая корка, а также неполированнаяповерхность, ямочки, царапины видимые под микроскопом при 50-тикратном увеличении, допускаются не более 2-х дефектов на рабочейповерхности, вне рабочей поверхности допускается, если их ширина непревышает 0.8 мм, а совокупная длина не более 5.0 мм. Диаметррабочей зоны 0.97 мм для пластины диаметром 100.0 мм и 73.0 мм дляпластины диаметром 76.2 мм. Чистота поверхности: на рабочейповерхности не допускаются инородные частицы. |
|